本文作者：冯帆；成功正常投稿发表论文到《科技创新与应用》2015年19期,引用请注明来源400期刊网！
【摘要】：文章主要介绍并分析了微机电系统在国内外发展的现状,重点对微机电系统的发展与运用进行了研究,突出围绕在军事领域的侦察、打击行动中的应用,在救援与医疗领域的探查和诊断、手术中的应用,以及在航空航天领域的微型卫星制造与发射中的应用进行了分析,对认识微机电系统的特点,发展相关技术和应用具有一定的借鉴和参考。
【论文正文预览】：微机电系统(MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem)的产生最早可追溯到上世纪70年代美国斯坦福大学所开发的硅微加工的气象色谱仪。而MEMS这个概念则是在80年代末被首次正式提出,这标志着其研究的真正开始[1]。MEMS得益于微电子学制造的飞速发展,它将普通芯片的电气特性和机
【文章分类号】：TH-39
【稿件关键词】：微机电系统发展现状应用展望
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【稿件标题】：微机电系统的应用|微机电系统的发展与应用
【作者单位】：南京农业大学工学院;
【发表期刊期数】：《科技创新与应用》2015年19期
【期刊简介】：《科技创新与应用》杂志是由中华人民共和国新闻出版总署、正式批准公开发行的优秀期刊，科技创新与应用杂志具有正规的双刊号，其中国内统一刊号：CN23-1581/G3，国际刊号：ISSN2095-2945。科技创新与应用杂志社由黑龙江出版集团有限公司主管、主办，本刊为旬......更多科技创新与应用杂志社(http://www.400qikan.com/qk/9454/)投稿信息
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