本文作者：徐军；孙国东；余耀；王禹；马静；成功正常投稿发表论文到《控制工程》2016年10期,引用请注明来源400期刊网！

【摘要】：采用石英晶体热敏新切型(ZY切型)和音叉结构,设计了一种工作于弯曲振动模式,输出为频率信号的数字温度传感器。针对温度传感器的要求,对石英晶体双旋切角的频率温度特性和机电耦合系数进行分析,确定热敏切型,使其具有较高的频率温度系数和机电耦合系数。对石英音叉结构和振动模式进行有限元仿真分析,优化传感器结构,并采用微机械加工技术制作音叉。实验结果表明,该传感器谐振频率对温度极其敏感并具有良好的频率温度线性关系,在0°C到100°C的测温范围内,频率温度系数为70×10~(-6)°C~(-1),分辨力为0.002°C,测温精度为±0.05°C,低功耗小于0.03μw。
【论文正文预览】：温度是一种非常重要的计量参数,尤其在高端科研、测控、生物医疗和材料特性研究领域,对温度的测量精度要求十分严格[1-4]。传统温度传感器主要有铂电阻、热敏电阻、热电偶和半导体温度传感器。铂电阻、热敏电阻和热电偶温度传感器需通过A/D转换器才能进入到微处理器,损失了测
【文章分类号】：TP212
【稿件关键词】：温度传感器谐振石英音叉石英微机械
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【稿件标题】：[石英音叉晶体谐振器论文]基于谐振原理的石英音叉数字温度传感器
【作者单位】：哈尔滨理工大学自动化学院;
【发表期刊期数】：《控制工程》2016年10期
【期刊简介】：《控制工程》杂志是由中华人民共和国新闻出版总署、正式批准公开发行的优秀期刊，控制工程杂志具有正规的双刊号，其中国内统一刊号：CN21-1476/TP，国际刊号：ISSN1671-7848。控制工程杂志社由中国教育部主管、东北大学主办，本刊为刊。自创刊以来，被公认誉......更多控制工程杂志社(http://www.400qikan.com/qk/5344/)投稿信息
【版权所有人】：徐军；孙国东；余耀；王禹；马静；

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