本文作者：胡俊峰；徐贵阳；郝亚州；成功正常投稿发表论文到《机械设计与研究》2014年01期,引用请注明来源400期刊网！

【摘要】：设计一种新型的6自由度精密微动平台,并对其静态和动态性能进行分析。利用3对不同方位的柔性铰链设计一种能实现6自由度运动的柔性运动支链,且支链结构设计在同一平面,将2对支链对称放置形成结构紧凑和高强度的微动平台。采用有限元软件ANSYS对平台进行柔度和运动学分析,分析结果表明对称支链1和3能产生Z和Y方向平动和绕X和Y的转动,而对称支链2和4能产生X和Y方向平动和绕Z和Y的转动,所以平台能实现6自由度运动,2对对称支链可以实现运动互补且具有部分运动解耦性。对平台进行灵敏度分析表明输出位移与输入位移为线性关系,平台沿X和Z方向的位移灵敏度相同,绕X和Z方向转角灵敏度相近,但Y方向灵敏度较小,说明平台在Y方向上运动性能不如其他方向的。对平台进行模态分析,从振型可看出其可实现6自由度方向的运动,并分析了在有和无预应力两种情况下的固有频率,两者差值范围为16.8%~33.9%,说明预应力对平台的固有频率有较大影响。
【论文正文预览】：微纳米级工作台在精密加工与精密测量、微电子工程、生物工程、纳米科学与技术等领域的作用已越来越重要[1-4],应用越来越广泛。摩尔定律一直在推动IC线宽和尺寸的变化。为了跟上技术发展的步伐,前端制造设备和测量设备中的纳米定位机构和精密运动控制系统必须达到10倍至1000
【文章分类号】：TH703
【稿件关键词】：微动平台动态特性柔顺并联机构静态特性
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【稿件标题】：[微操作论文]一种新型空间微操作平台的设计和性能
【作者单位】：江西理工大学机电工程学院;
【发表期刊期数】：《机械设计与研究》2014年01期
【期刊简介】：《机械设计与研究》杂志是由中华人民共和国新闻出版总署、正式批准公开发行的优秀期刊，机械设计与研究杂志具有正规的双刊号，其中国内统一刊号：CN31-1382/TH，国际刊号：ISSN1006-2343。机械设计与研究杂志社由中华人民共和国教育部主管、上海交通大学主办......更多机械设计与研究杂志社(http://www.400qikan.com/qk/5432/)投稿信息
【版权所有人】：胡俊峰；徐贵阳；郝亚州；

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